一般來說材料越強抗氣蝕能力越強，由于氣蝕往往發生在金屬表面，可在閥芯、閥座、閥桿等處噴鍍或堆焊一層硬質金屬，這種方法叫表面硬化處理。采用的材料目前有司太萊合金（一種鈷鉻鎢合金。有Stelite NO12、NO6）、6YC1合金（一種鈷鉻鎢合金）、硬質工具鋼、碳化鎢等，其中以SteliteNO12應用最為廣泛。經表面硬化處理后，以奧氏體不銹鋼（SUS304、1Cr18Ni9Ti）為例，可提高耐氣蝕10倍以上。在氣蝕嚴重的場合，也可采用整體硬質合金的調節閥。采用高壓差防空化調節閥。主要有多級套筒式、多級閥芯式、多級疊板式，均根據多級降壓原理制成，用于壓差接近于、高于10MPa的場合。
緊急切斷閥
